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Quark石英晶体薄膜沉积控制器/晶控仪


全集成石英晶体薄膜沉积控制器

菲利浦质子科技通过前沿的频率-温度补偿技术带来了高分辨率的薄膜沉积控制系统( Quark Rack Mounted Deposition Controller),标准的19英寸机械安装架和多功能的
触屏显示器。

整合了Nucleus Plus 技术,薄膜沉积控制仪在模块化的基础上建立了温度测量薄膜控制系统。支持扩展4个输入输出口和探头(2个标准仪器),实时的频率-温度曲线和500℃操作晶体。传统的检测和测量手段由于忽视了晶体温度的变化带来了极大的误差,通常误差为10%,在错误的环境下误差可以为100%。菲利浦通过监测实时的温度变化,从而对薄膜进行高精度极低误差控制。

薄膜沉积控制仪有非常高的稳定度和菲利浦产品惯有的精密度。6MHz(AT or RC)的石英晶体前所未有的应用在了薄膜沉积领域。

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